公司背景：
三河市衡岳真空设备有限公司由张诚博士于2015年创立，专注于高端真空镀膜设备研发及制造的高科技公司。公司位于三河市燕郊开发区全景工业园，拥有1500平方米标准厂房。公司汇集了薄膜工艺、自动化控制、机械制造等各方面优秀人才。公司总经理张诚2004年初获北京理工大学光学薄膜专业博士学位，之后12年时间里服务于欧美真空镀膜设备公司驻华机构，先后负责过中国市场的销售、技术服务以及外销设备在国内的生产制造，积累了丰富的实践经验。
公司理念：
以工艺为导向，坚持技术创新，坚持自主核心技术，为用户设计制造技术优良、稳定可靠、操作方便的真空镀膜系统。
一．坚持工艺为导向：
公司坚持以工艺为导向，为客户提供完善的工艺解决方案，并与2016年底成立了镀膜工艺中心。
1. 对比较特殊的工艺，衡岳工艺部门可提供试镀服务，保证客户买得放心；
2. 从工艺角度出发改进设备，使设备贴合工艺要求；
3. 提供镀膜外协服务；
二．坚持核心技术自主研发：
技术创新是公司的价值和生命，公司坚持自行开发核心部件，以保证核心竞争力和技术持续改进能力。衡岳真空成立后两年半时间内，在研发上的累计投入已经超过500万人民币。到2017年9月，公司提交了三项发明专利申请。设备方面完成了下列技术工作：
1. 完善定型了常规磁控溅射系统SP530和SP600；
2. 完善定型了电子束蒸发镀膜机EB450，EB660，EB800，EB900；
3. 开发定型了高频感应蒸发系统IH450；
4.
开发定型了精密磁控溅射系统ASP750，ASP900，ASP1200（均匀性优于±0.5%，重复性+/-1%）；
5. 开发定型了反应磁控溅射系统RSP750，RSP900 , RSP1200（均匀性优于±0.5%，重复性+/-1%）。
自行开发完成的核心部件包括：
1. 开发定型了2-10英寸直径的圆形磁控溅射靶枪；
2. 开发了用于溅射的直流溅射电源，直流脉冲电源；
3. 开发了磁控溅射用自动切换器；
4. 开发了用于自动进样的机械传送装置；
5. 开发了高频感应蒸发用多坩埚旋转机构
6. 开发了两种离子源，包括一种霍尔源和一种新型的免维护射频离子源；
产品和服务：
真空镀膜设备：
- SP530、SP600 共焦磁控溅射系统—适合于直流、脉冲直流、射频磁控溅射金属、介质材料薄膜；
- EB450、EB660、EB800、EB900电子束蒸发系统—可以配置射频离子源；
- EH450高频感应蒸发系统—采用高频电流感应的方式蒸发蒸发温度在1500度以下的材料，相比传统阻蒸具有蒸发速率稳定，装料量大，节省材料，坩埚可以反复使用等优点，替代传统电阻蒸发；
- ASP750，ASP900，ASP1200精密磁控溅射系统—适合于批量生产及要求高均匀性、重复性磁控溅射镀膜，采用垂直溅射方式；
- RSP750，RSP900，RSP1200反应磁控溅射系统—采用反应磁控溅射方式镀制氧化物或者氮化物，薄膜致密性超过电子束离子辅助沉积，均匀性、重复性好，可以进行精密光学镀膜，或者镀制高致密性氧化物、氮化物薄膜；
真空镀膜服务：
公司工艺部承接镀膜外协服务，以及为设备提供工艺开发、试镀服务。
公司优势：
- 性价比高：所有定型设备，性能均等同或者超过国外同类进口设备，有竞争力的价格，优质快捷的技术支持和售后服务；
- 研发能力强：公司汇集了机械设计、自动化控制、薄膜工艺的专业人才，现有博士一人，硕士六人，本科16人，有持续研发改进设备的能力；
公司重要事件：
- 2017年6月改进了高频感应蒸发技术，使其可以蒸发材料的最高温度从700度提高到1500度，大大增加了高频感应蒸发技术的适用范围；
- 2017年5月定型了新型射频离子源RIS系列；
- 2017年4月定型了反应磁控溅射系统RSP1200，相比测试型RSP系统 性能大幅提升；
- 2016年10月优化改进了进样室，大幅提高了进样室传送稳定性；
- 2016年8月优化改进了磁控溅射靶枪结构，解决了靶材安装面变形的问题，一方面提高了靶材散热效果，从而保证工艺稳定性；另一方面解决了安装面变形挤碎化合物靶材的问题；
- 2016年6月定型了量产型精密磁控溅射系统（ASP系列）；
- 2015年10月推出测试版反应磁控溅射系统RSP750；
- 2015年8月定型高频感应蒸发技术和设备（IH系列）；
- 2015年6月定型常规磁控溅射台（SP系列）;
- 2015年5月定型电子束蒸发设备（EB系列）；
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